Descripción |
En 2013 el grupo de investigación en Microtecnologia y Sistemas Embebidos -MICROSE- del Centro de Investigación en Computación -CIC- en cooperación con el Centro de Nanociencias y Micro-Nano-Tecnologías -CNMN- del IPN, desarrollaron bajo el proyecto SIP-20131106 dispositivos SAW utilizando electrodos metálicos interdigitados (IDT) dispuestos sobre la superficie de obleas de Niobato de Litio, depositados por evaporación de aluminio y litografía convencional. En este proyecto se probó la aplicació |